|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Промышленные АСУ и контроллеры Аннотация к статье << Назад
Электродная структура микромеханического гироскопа |
Нестеренко Т.Г., Пересветов М.В., Коледа А.Н.,
Колчужин В.А.
В статье рассматриваются электродные структуры, которые используются в микромеханическом гироскопе в качестве датчиков перемещений, вибропривода и корректирующих устройств, прикладывающих усилия к подвижным элементам. Проведен аналитический расчет емкостей электродных структур и создаваемых ими сил с учетом краевых эффектов.
Ключевые слова: микромеханический гироскоп, емкость, планарный вибропривод, электростатические силы, гребенчатые электродные структуры, краевой эффект.циклограмме, оценка величины гистерезиса, защита от сбоев или отказов.
Контактная информация: e-mail: nester4646@mail.ru
Стр. 62-66. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |