Промышленные АСУ и контроллеры Аннотация к статье << Назад Устройство измерения толщины металлических слоев в процессе изготовления тонкопленочных микрополосковых плат Мощенский Ю.В., Мощенская Е.Ю., Гроховской А.В., Зотов Е.В., Федотов С.В. Предложено устройство для контроля толщины металлических слоев в технологическом процессе изготовления тонкопленочных микрополосковых плат. Описан метод измерения толщины, позволяющий оценивать как однослойные, так и многослойные металлические покрытия, а также представлены варианты его внедрения в технологический процесс. Описана функциональная схема устройства. Приведены результаты экспериментальной оценки достоверности способа измерения толщины металлических покрытий методом локального электрохимического анализа. Ключевые слова: количество электричества, контроль толщины, локальный электрохимический анализ, прижимная ячейка, толщина покрытия, тонкопленочные микрополосковые платы. Контактная информация: e-mail: rtu@samgtu.ru Стр. 67-70.