Промышленные АСУ и контроллеры Аннотация к статье << Назад Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем Нестеренко Т.Г. Барбин Е.С. Коледа А.Н. В статье рассматриваются торсионные подвесы микроэлектромеханических систем (МЭМС). Проведен анализ влияния технологических несовершенств изготовления МЭМС на характеристики упругих подвесов. В результате компьютерного конструирования созданы параметрические 3D-модели торсионных подвесов. Методом конечных элементов определены формы колебаний торсионов различной формы. Выявлены параметры, оказывающие наибольшее влияние на собственные частоты и коэффициенты жесткости упругих подвесов МЭМС. Ключевые слова: микроэлектромеханические системы; собственные частоты; коээфициенты жесткостей; упругий подвес; технологические дефекты. Контактная информация: E-mail: bar_es@mail.ru Стр. 60-66.