Промышленные АСУ и контроллеры Аннотация к статье << Назад Корректирующие устройства САУ деформацией многослойных пьезоактюаторов нано- и микроперемещений Афонин С.М. В данной работе получены передаточные функции многослойных пьезоактюаторов нано- и микроперемещений при продольном и поперечном пьезоэффекте, произведена коррекция характеристик пьезоактюатора с использованием встроенного пьезодатчика. Использование пьезоактюаторов для нано- и микроперемещений перспективно в нанотехнологии, нанобиологии, фотонике, энергетике, микроэлектроникe и астрономии для прецизионного совмещения, компенсации температурных и гравитационных деформаций. Увеличение диапазона перемещения пьезопривода до десятков микрометров достигается использованием многослойного пьезоактюатора, который обеспечивает нанометрическую точность САУ. Определены передаточные функции многослойных пьезоактюаторов для продольного и поперечного пьезоэффекта при упругоинерционной нагрузке с учетом массы нагрузки, жесткости упругого элемента и пьезоактюатора. Для обеспечения качества систем управления деформацией многослойных пьезоактюаторов и требуемого показателя колебательности выбраны корректирующие устройства САУ деформацией многослойных пьезоактюаторов. Определены условия абсолютной устойчивости систем управления деформацией многослойных пьезоактюаторов нано- и микроперемещений для продольного и поперечного пьезоэффекта. Ключевые слова: многослойный пьезоактюатор; нано- и микроперемещения; коррекция характеристик; передаточные функции; корректирующие устройства; устойчивость систем управления. Контактная информация: E-mail: eduems@mail.ru Стр. 17-25.