Промышленные АСУ и контроллеры Аннотация к статье << Назад Передаточные функции многослойного электромагнитоупругого актюатора нано- и микроперемещений С.М. Афонин В данной работе получены передаточные функции многослойных пьезоактюаторов нано- и микроперемещений при продольном и поперечном пьезоэффекте, на основе решения матричных уравнений построена структурно- параметрическая модель многослойного электромагнитоупругого актюатора, определено влияние геометрических, физических параметров и внешней нагрузки на его статические и динамические характеристики в системе управления, получены передаточные функции многослойного пьезоактюатора для пьезопривода наноперемещений. Использование пьезоактюаторов для нано- и микроперемещений перспективно в нанотехнологии, нанобиологии, фотонике, энергетике, микроэлектроникe и астрономии для прецизионного совмещения, компенсации температурных и гравитационных деформаций. Увеличение диапазона перемещения пьезопривода до десятков микрометров достигается использованием многослойного пьезоактюатора, который обеспечивает нанометрическую точность САУ. Структурно-параметрическая модель многослойного электромагнитоупругого актюатора строится в результате совместного решения матричного уравнения четырехполюсника, уравнения электромагнитоупругости и граничных условий на двух нагруженных рабочих поверхностях актюатора. Матричное уравнение деформаций и передаточные функции многослойного электромагнитоупругого актюатора выводятся из системы уравнений, описывающих его структурно-параметрическую модель. Определены передаточные функции многослойных пьезоактюаторов для продольного и поперечного пьезоэффекта с параллельным и кодовым управлением при упругоинерционной нагрузке с учетом массы нагрузки, жесткости упругого элемента и пьезоактюатора. Ключевые слова: передаточные функции; многослойный электромагнитоупругий актюатор; матричные уравнения; структурно-параметрическая модель; параметрическая структурная схема; многослойный пьезоактюатор; нано- и микроперемещения; продольный и поперечный пьезоэффекты; параллельное и кодовое управление; деформация; статические и динамические характеристики. Контактная информация: E-mail: eduems@mail.ru Стр. 24-34.