Промышленные АСУ и контроллеры Аннотация к статье << Назад Фильтры на поверхностных аккустических волнах, датчики физических величин на их основе и меры малой длинны (5 мкм), изготавливаемые ОАО НПП “Эталон” г. Омск Д.А. БУДКО В статье представлены результаты работы ОАО НПП “Эталон” в области разработки и изготовления продукции микроэлектроники (фильтров на ПАВ, элементов для измерения малых размеров с ценой деления измерительной линейки 5 мкм и погрешностью аттестации 0,05 мкм). Показана перспективность применения разработанных линий задержки для создания датчиков температуры и датчиков давления. Ключевые слова: фильтры на ПАВ, объект-микрометр, мера штриховая, мера совмещаемости. E-mail: bdenis13@mail.ru