Промышленные АСУ и контроллеры Аннотация к статье << Назад Коэффициенты гармонической линеаризации гистерезисных характеристик многослойного пьезоактюатора нано- и микроперемещений С.М. Афонин В данной работе исследованы гистерезисные характеристики многослойного пьезоактюатора нано- и микроперемещений, приведены экспериментальные и теоретические гистерезисные характеристики с основными и частными циклами, получена передаточная функция нелинейного звена с гистерезисной характеристикой в виде основного гистерезисного цикла для деформации пьезоактюатора, определены коэффициенты гармонической линеаризации гистерезисной характеристики многослойного пьезоактюатора при продольном пьезоэффекте. Использование пьезоактюаторов для нано- и микроперемещений перспективно в нанотехнологии, нанобиологии, фотонике, энергетике, микроэлектроникe и астрономии для прецизионного совмещения, компенсации температурных и гравитационных деформаций. Увеличение диапазона перемещения пьезопривода до десятков микрометров достигается использованием многослойного пьезоактюатора, который обеспечивает нанометрическую точность системы управления. В работе получены описание основной гистерезисной петли и частного цикла деформации многослойного пьезоактюатора нано- и микроперемещений с учетом расширения гистерезисной петли в динамике из-за вязкого трения при перемещении доменных границ. Определены выражения для обобщенной частотной передаточной функции нелинейного звена с гистерезисной характеристикой в виде основного гистерезисного цикла многослойного пьезоактюатора, для коэффициентов гармонической линеаризации обобщенной основной гистерезисной петли многослойного пьезоактюатора нано- и микроперемещений. Ключевые слова: многослойный пьезоактюатор; нано- и микроперемещения; гистерезисные характеристики; основной и частный циклы; частотная передаточная функция; коэффициенты гармонической линеаризации; система управления. Контактная информация: E-mail: eduems@mail.ru Стр. 59-65.