Промышленные АСУ и контроллеры Аннотация к статье << Назад Преобразование параметрических структурных схем многослойного пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте для наномехатронных систем С.М. Афонин В работе определены параметрические структурные схемы, структурно-параметрическая модель и передаточные функции многослойного пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте для наномехатронных систем, показана трансформация параметрических структурных схем. Многослойный пьезоактюатор при поперечном пьезоэффекте используется для совмещения, компенсации температурных и гравитационных деформаций в нанотехнологии, нанобиологии, адаптивной оптике для сканирования в атомно-силовых микроскопах и сканирующих туннельных микроскопах. Получены структурно-параметрическая модель и параметрическая структурная схема многослойного пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте на основе уравнений пьезоэффекта, волнового уравнения, преобразования Лапласа, уравнения противоэлектродвижущей силы. Матричное уравнение деформаций и передаточные функции многослойного пьезоактюатора получены из системы уравнений, описывающих его структурно-параметрическую модель. Определено изменение упругой податливости и жесткости многослойного пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте в зависимости от вида управления напряжением или силой тока. Исследовано влияние геометрических и физических параметров, внешней нагрузки на его статические и динамические характеристики. Получена матричная передаточная функция многослойного пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте. Определены передаточные функции многослойного пьезоактюатора, закрепленного одним торцом, при упруго-инерционной нагрузке с учетом массы нагрузки, жесткости упругого элемента и многослойного пьезоактюатора. Ключевые слова: многослойный пьезоактюатор; наномехатронная система; деформация; поперечный пьезоэффект; параметрическая структурная схема; структурно-параметрическая модель; передаточная функция. DOI: 10.25791/asu.06.2019.682 Контактная информация: E-mail: eduems@mail.ru Стр. 54-63.